Computational Physics - BGU Physics Department
BGU Physics Department

Nanofabircation and clean-room techniques

(2 points, 2.5 hours)
course number 203-2-5261

Links

Syllabus

נושאי ההרצאות:

  1. הרצאת מבוא
  2. בטיחות והתנהגות בחדר נקי
  3. תהליכי ליטוגרפיה
  4. תהליכי שיקוע  ונידוף
  5. תהליכי איכול
  6. תהליכי דיפוזיה (השתלות יונים)
  7. מדידות חשמליות
  8. הרצאת סיכום: אינטגרציה + סיור במפעל של אינטל

נושאי המעבדות:

  1. ליטוגרפיה
  2. שיקוע ונידוף שכבות
  3. תהליכי איכול
  4. מדידות חשמליות

Browse 

Icon  Name                    Last modified      Size  Description
[DIR] Parent Directory                             -
Apache/2.0.52 (Red Hat) Server at physweb.bgu.ac.il Port 80